真空组件：钛升华疏水阀概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-12 1:12:30 * 浏览: 4

尽管液氮冷阱可以有效地减少泵油的回流，但是少量的油蒸气分子仍可以通过冷阱。另外，泵油裂解物中存在大量的氢，而氢不能被液氮冷阱捕获，因此成为局限性。是为扩散泵获得更高真空度的主要因素。钛热升华阱安装在扩散泵和真空室之间。除了阻止油分子和其他裂化材料的回流外，它还可以捕获氢。因此，配备有钛升华阱的超高真空系统可以获得10-11 Pamdash和10-12 Pa的极限压力。典型的钛升华井的结构如图7-26〜7-28所示。